愛發(fā)科ULVAC集團，是面向各個行業(yè)廣泛提供各種綜合性真空設備、真空儀器、材料、分析設備，為解決客戶難題，提升客戶企業(yè)價值，提供多種多樣的解決方案的企業(yè)集團。
在愛發(fā)科ULVAC集團中，Components Business Unit是負責開發(fā)、制造、銷售構成綜合性真空設備多種多樣的真空配套產品的企業(yè)團體。真空設備的性能，是由追求最尖端的真空技術的各種真空配套機器來支撐的。
主要產品有：
真空泵(低?中真空)
真空泵(高真空)
真空計
氣體分析儀（工藝氣體監(jiān)測儀
檢漏儀
高速光譜橢偏儀
水晶振蕩式成膜控制器
真空閥
DC電源
DC脈沖電源
MF電源
愛發(fā)科ULVAC真空泵干泵GR系列是以獲得良好業(yè)績和信賴的LR/HR系列為基礎設計的，面向一般產業(yè)設計的簡單結構的泵。
LS系列真空泵被歸為螺桿型干式真空泵。以往要提高排氣速度就要消耗大量電能，我們通過獨創(chuàng)的螺桿形狀和節(jié)電技術的融合，使該系列產品成為兼顧高速排氣和低功耗的干式真空泵。
愛發(fā)科ULVAC真空泵HR/UR 系列
干泵HR/UR系列，根據獨有的高溫均熱化技術，有效利用壓縮熱，實現(xiàn)了在CVD，蝕刻等硬工藝中的高耐久性。在輕工藝中，與ECO-SHOCK的組合最多可節(jié)省約88%的電力。另外，提高了維護性和降低了噪音，全部型號CE對應可能（可選）。
EB槍?EB電源
真空搬送機器人
分子間相互作用定量QCM設備
微量精密攪拌器
小型蒸發(fā)設備
低溫設備(CRYO)
熱處理?熱物性評估裝置
愛發(fā)科ULVAC真空泵干泵CR系列VerB是獲得國際標準（CE,cTUVus）的空冷式羅茨型干泵。排氣室內不使用真空油，因轉子和汽缸是不接觸的，可長時間穩(wěn)定運轉。
DIS-501
ULVAC
?雙繞式渦旋泵、含1根軌道螺旋和2根固定螺旋。
?可在大氣壓下實現(xiàn)操作運行。
?可實現(xiàn)高極限真空。
?低振動低噪音。
?維護周期可通過計時表控制。
上海煜柯銷售愛發(fā)科ULVAC真空泵及真空配套產品，可以提供成套真空系統(tǒng)解決方案。
